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       超純水又稱UP水，是指電阻率符合18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，基本沒有什么雜質(zhì)，也沒有細(xì)菌等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是基本去除氧和氫以外原子的水?？梢杂糜诎雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它技術(shù)的制備過程。

       這樣的水是一般工藝很難符合的程度，理論上可以采用二類反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹脂的再生不便，質(zhì)量不好保障。
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